荷蘭OKO薄膜變形鏡,MMDM變形鏡、PDM變形鏡、波前傳感器自適應光學(xué)器件回到首頁(yè) | 產(chǎn)品中心 | 代理品牌 | 技術(shù)文檔 | 新聞中心 | 聯(lián)系玻色 |
|
荷蘭OKO薄膜變形鏡,MMDM變形鏡、PDM變形鏡、波前傳感器自適應光學(xué)器件 17-ch 15-mm micromachined membrane DM with tip-tilt stage 38通道 50mm口徑壓電變形鏡(PDM)荷蘭OKO公司38通道50mm口徑壓電變形鏡(PDM)。該變形鏡包含38個(gè)柱狀壓電執行器。這些執行器底部固定在基座上,頂部與鏡面連接固定。鏡面涂有反射層,可產(chǎn)生較高的反射率。鏡面形狀由執行器的控制電壓來(lái)決定。變形鏡外殼背面有一個(gè)圓形開(kāi)口,可以讓殘余激光穿過(guò)變形鏡而不影響設備內部正常使用。 該裝置可用于激光、望遠鏡、眼科學(xué)、顯微鏡和一般成像光學(xué)中的光學(xué)像差(如離焦、像散、彗差等)快速動(dòng)態(tài)校正。 該變形鏡初始面形為略微彎曲的球面。這個(gè)彎曲球面是由鏡面涂層中的應力引起的。它不會(huì )影響鏡面的參數,但是,在將變形鏡并入光學(xué)系統時(shí)應予以考慮。當系統閉環(huán)運行時(shí),可通過(guò)主動(dòng)“校平”消除該初始面形,使該變形鏡面形變成一個(gè)平面或任意曲面。 由于執行器的遲滯效應,在PDM使用過(guò)程中,初始像差可能會(huì )發(fā)生變化并與參考球面的偏差更大。這種偏差是執行器的響應函數疊加的緣故,在閉環(huán)控制的系統中基本無(wú)影響,但可能會(huì )略微降低校正范圍。
79通道微機械 薄膜變形鏡 (MMDM 30mm)荷蘭OKO公司推出了一款微機械薄膜變形鏡(MMDM),具有 79 通道,鏡面直徑為30mm 。具有新穎的致動(dòng)器幾何形狀,可以準確地近似多個(gè)低階Zernike模式,達到優(yōu)異的波前校正效果。 微機械薄膜變形鏡(MMDM)荷蘭OKO薄膜變形鏡,MMDM變形鏡、PDM變形鏡、Shack-Hartmann波前傳感器等自適應光學(xué)器件 薄膜變形鏡一般采用金屬薄膜作為鏡面材料,通過(guò)微機械加工(MEMS)工藝制成,因此又稱(chēng)MEMS變形鏡。 薄膜的邊緣固定在周?chē)目蚣芙Y構上,薄膜下方有控制電極。 工作原理: 當在薄膜下方的電極上施加電壓時(shí),電極和薄膜之間產(chǎn)生靜電吸引(eletrostatic attraction),從而導致薄膜發(fā)生形變。 如果在所有的電極上施加相同的電壓,則薄膜會(huì )產(chǎn)生球形的形變(球形凹陷)。 在不同的電極上施加不同電壓(即不同的電壓組合),則可以使薄膜產(chǎn)生不同的形變。 偏置控制(雙向變形): 由于電極與薄膜之間只存在吸引力而不能產(chǎn)生排斥力,因此薄膜只能朝著(zhù)電極的方向產(chǎn)生形變(即凹面形變),而不能產(chǎn)生凸面形變。 在實(shí)際使用過(guò)程中,為了使薄膜產(chǎn)生雙向變形(能凹能凸),通常在校準光路的時(shí)候給變形鏡先施加一個(gè)偏置電壓(如下圖所示),使變形鏡產(chǎn)生偏置形變,這樣變形鏡就可以此為基礎產(chǎn)生凹凸變形。 控制精度: 薄膜變形鏡不存在磁滯效應,形變重復性較好。 根據控制電壓和形變之間的定量關(guān)系,可以實(shí)現鏡面形變的高精度控制,可用于前饋控制系統(無(wú)反饋控制)。 電功耗: 由于薄膜變形鏡僅靠靜電吸引產(chǎn)生形變,驅動(dòng)電流極小,因此雖然驅動(dòng)電壓達到上百伏,但消耗的電功率較低。 實(shí)驗中曾測量到40通道的MMDM在工作模式下功耗不超過(guò)1W。
壓電陶瓷變形鏡(PDM)
應用包括光學(xué)像差的動(dòng)態(tài)校正在高功率激光,天文和成像系統。 37(19)個(gè)壓電支柱驅動(dòng)器 反射鏡面涂覆AI層 驅動(dòng)器最大電壓400V 初始鏡面值RMS<0.9μm 用于低階光學(xué)像差的快速動(dòng)態(tài)校正
|
上海玻色智能科技有限公司 上海: (021)3353-0926, 3353-0928 北京: (010)8217-0506 廣州: 139-0221-4841 武漢: 139-1733-4172 全國銷(xiāo)售服務(wù)熱線(xiàn):4006-171751 Email: info@bosontech.com.cn www.qiaoziwei.cn 2008-2022 All Rights Reserved! |
|